近期被Amtech系統(tǒng)公司收購的光伏設備企業(yè)SoLayTec表示，其與韓華Q Cells就公司ALD(原子層沉積)系統(tǒng)的合作日前進入了評估測試階段。

SoLayTec公司表示，韓華Q Cells將在其位于德國塔爾海姆的總部，使用先進技術設備對SoLayTec旗下InPassion系列ALD系統(tǒng)在高效太陽能電池上的表現(xiàn)進行評估。

“我們的目標是向太陽能產(chǎn)業(yè)表明，在晶硅太陽能電池的鈍化工藝中使用空間ALD解決方案，相較于PECVD氧化鋁具有更高的潛力。” SoLayTec公司聯(lián)合創(chuàng)始人之一Roger Görtzen表示，“我們的空間ALD工具相較于PECVD所具有的最大的優(yōu)勢包括：較大的解階梯覆蓋、穩(wěn)定的均勻性和三氧化二鋁所要求的僅為5nm的疊層厚度。此外，如果在ALD電池工藝中，在SiN封層上直接使用PECVD，則可采用集成退火工藝，其最終制成的電池性能要比PECVD氧化鋁工藝好得多。”

SoLayTec旗下的ALD技術已經(jīng)被美國的Mission Solar相中，并購買用來生產(chǎn)N型單晶雙面太陽能電池，該產(chǎn)品預計將在2015年現(xiàn)半年進入量產(chǎn)階段。

Görtzen先生還指出公司在此次評估流程開始前已與韓華Q Cells進行了多年的對話溝通。

韓華SolarOne對韓華Q Cells的收購正在進行當中，但預計韓華Q Cells在整個集團中將繼續(xù)保持其先進技術驅(qū)動地位。