在SEMICON China 2013開展首日，中微半導體設備（上海）有限公司正式發(fā)布了具有自主知識產(chǎn)權的多反應器金屬有機化合物氣相沉積設備（MOCVD）——Prismo D-Blue?，并首次進入半導體照明市場。
 

 

Prismo D-Blue? MOCVD 設備可以實現(xiàn)復雜的氮化鎵、銦鎵氮、鋁鎵氮超薄層結構的大批量生產(chǎn)，這些超薄層結構對于高亮度LED是必需的。中微的 MOCVD 設備不僅具有精準的參數(shù)控制、全自動化處理和獨特的緊湊設計等特點，而且擁有高生產(chǎn)率、高產(chǎn)能和低成本投入，是 LED 芯片制造過程中必不可少的新一代 MOCVD 設備。
 

中微此款具有自主知識產(chǎn)權的 MOCVD 設備可以容納多達4個反應器，每個反應器都可以獨立控制。這一創(chuàng)新設計可以實現(xiàn)卓越的生產(chǎn)靈活性。它也是該類設備中唯一帶有這一特性的產(chǎn)品，也就是說，中微的 MOCVD 設備可以以并行或者串行模式運行，這就減少了交叉污染，并且保證了晶體的高質量，這是先進的 LED 器件所必需的。中微的MOCVD設備在外形尺寸上也有相當?shù)膬?yōu)勢，它比競爭者的單反應器機臺的占地面積小了近30%，因此，Prismo D-Blue對于目前的 LED 芯片生產(chǎn)線無疑是占地面積更小的絕佳選擇。
 

中微的Prismo D-Blue設備可以同時加工216片2英寸晶圓。它的工藝能力還能延展到生長4英寸、6英寸和8英寸外延芯片。除了具有多反應器結構的優(yōu)點可以使其加工靈活性達到最大化以外，Prismo D-Blue 在每個關鍵性能指標上的表現(xiàn)都十分出色。在馬拉松測試中，它表現(xiàn)出了優(yōu)異的片內和片與片之間的均勻性以及很好的重復性。這些結果都是在整個外延芯片加工的過程中未作任何工藝參數(shù)調整而得出的。外延芯片加工的過程對于反應腔室表面的條件、化學氣體環(huán)境、溫度轉換控制和其他可變因素都極為敏感，因此在這種加工過程中，能達到持續(xù)的重復性確實有它獨到的一面。
 

在上述馬拉松測試中，Prismo D-Blue 從未發(fā)生過任何異常中斷，中微通過對工藝參數(shù)現(xiàn)場實時的監(jiān)控實現(xiàn)了高可靠性。這種高可靠性還得益于一系列復雜的軟件程序、先進的傳輸模塊、流程自動化和控制技術。這些同樣也是使得中微的半導體前端加工設備被業(yè)界廣為認可的技術。
 

Prismo D-Blue 還被進一步優(yōu)化以方便用戶更易操作與維護。這對于一個發(fā)展迅速并看重成本的 LED 芯片制造商來說是至關重要的。卓越的加工性能和正常可運行時間可以拉大服務之間的差距，而新穎的設計特點則能夠使得設備維護更加簡便易行。同時，自動化、可編程的維護程序使得反應腔開關操作更加安全、快捷、可預測并且不易出錯。
 

Prismo D-Blue 目前已擁有100多項專利（包括授權和未授權專利）以保護其獨特的創(chuàng)新性。此外，它還遵循了半導體制造規(guī)則并完全符合 SEMI 標準。
 

中微半導體董事長兼首席執(zhí)行官尹志堯表示，中微為全球半導體制造商提供了先進的工藝技術和設備。目前，中微已有超過200個刻蝕反應機臺在亞洲16條國際領先的半導體生產(chǎn)線上運行。中微在硅技術上積累了豐富的經(jīng)驗和工藝知識，進入半導體照明市場對于中微而言是水到渠成的一步。中微半導體不斷開發(fā)新產(chǎn)品進入新領域，并且步伐在不斷加快，MOCVD設備的開發(fā)到成功推出僅僅花了兩年的時間。中微有充分信心通過與客戶配合試生產(chǎn)并不斷完善，將其MOCVD設備打造成為全球最一流的設備之一。
 

SEMI全球副總裁、SEMI中國總裁陸郝安博士對中微新產(chǎn)品的發(fā)布表示熱烈的祝賀，他表示，SEMI作為全球專業(yè)的半導體設備與材料行業(yè)協(xié)會，在中國的使命即為推動中國半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。當前中國本土半導體業(yè)者最缺失的是核心競爭力，比如LED外延關鍵設備MOCVD多從國外采購，而今天中微在此領域取得重大突破成就是非常有意義的。